设备主体机构为龙门双驱，龙门长度2m、跨度1m，一共配备12个轴的运动控制，其中7个轴为点到点移动，另外5个轴为脉冲控制，结构设计分为两端，每端各有2轴，其中1轴横跨，同步运动进行晶圆搬运。

课题

1、当前的控制周期长，无法进行高精度的指令运算，导致龙门控制精度难以提升。

2、当前系统由多个控制器构成，难以实现高度的同步控制。

3、当前控制系统仅支持专用语言，其他功能难以实现；且内部处理为黑盒，客户无法自定义。

解决方案

1、高速控制周期实现更高精度的加工

欧姆龙可编程多轴运动控制器CK3M/CK5M系列，通过控制周期25μs / 5轴的超高速伺服周期运算，能够以超高速的控制周期进行顺畅的指令运算，实现理想的轨迹。

只要存在高精度的指令，即可通过追踪指令，实现高精度的运动控制。通过高速接收并补偿反馈值，实现更接近指令值的轨迹控制。

2、支持不同接口，实现理想设备构成

输入接口支持A/B相信号、正弦波信号、串行数据I/F，而控制指令接口也支持模拟指令（DAC）、基于Direct PWM*2的轴控制。该系统可连接高精度的标尺、精密的直线电机、高精度的扫描振镜等，能自由选择适合客户应用的设备构成。还能通过各执行器之间的高精度同步控制实现高精度的加工。

3、高自由度的开发实现各种各样的应用

使用PMAC专用脚本语言，可对客户自有的复杂、高级算法进行编程。还支持C语言，可轻松实现非常复杂的算法和处理控制器内的日志文件等普通控制器难以实现的功能。此外，通过定义子程序，不仅可以自定义标准G代码，还能实现具有客户专属功能的G代码。

内部处理为白盒，可在客户端进行自定义加工数据坐标系和执行器机械坐标系的关系，轻松实现需要复杂执行器机构的应用，（例如：机器人机构和On the Fly激光加工等）。

实现价值

1、龙门速度：2m/s

2、定位精度：10μs

3、晶圆搬运同步精度：5μs

客户的心声

通过25µs / 5轴的超高速伺服周期运算，实现高精度的指令运算和高精度的指令追踪，使设备达到更高性能，打造核心竞争力。另外，通过支持不同执行器 / 标尺的接口和控制模式，可以摆脱外围设备的限制，灵活应对当前多供应商的设备构成。对于工程师而言，内置PMAC架构可进行高自由度的开发，通过高自由度的软件结构轻松构建客户自有算法，并实现以往难以实现的应用。